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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

由于不规则的脉冲序列分布，其非周期性的特点，使得峰值功率分析仪的普通触发方式难以准确测量这种类型的脉冲信号。需要通过峰值功率分析仪的触发释抑功能进行测量。峰值功率分析仪测量复杂脉冲调制序列的方法雷达、遥感追踪、核磁共振成像和无线通信应用如TDMGSM等复杂调制信号如下图所示，脉冲序列在时域上是不规则分布的，在较长时间内是重复的周期信号，但在短时间内则不是。由于脉冲序列的非周期性，峰值功率分析仪使用普通触发方式无法准确测量这种类型的脉冲信号。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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电源、电器及通信线缆的敷设测径仪系统的线缆请按图敷设，见设备图《测径仪现场布线图》。供电部分：由控制室预留的动力电源给主控机柜，输入到主控机柜的电源必须先经过交流净化稳压电源，然后再由主控机柜转接到测量车和LED显示屏。高压离心通风机的动力电就近连接。信号部分：主控机柜与测量车之间采用TCP/IP协议光缆连接（使用一对，备用一对）。主控机柜与现场LED显示屏之间采用TCP/IP协议光缆连接（使用一对，备用一对）。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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在本文中，我们将回顾以前发布的技术，这些技术通过偏移LO频率并以数字方式补偿此偏移，强制杂散信号去相关。已知杂散去相关方法在相控阵中，用于强制杂散去相关的各种方法问世已有些时日。已知的份文献1可以追溯到2002年，该文描述了用于确保接收器杂散不相关的一种通用方法。在这种方法中，先以已知方式，修改从接收器到接收器的信号。然后，接收器的非线性分量使信号失真。在接收器输出端，将刚才在接收器中引入的修改反转。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

测试设备校验桂林-认证中心然而，近年来，也有专业人士已经意识到，要使晶体管更加微小，摩尔定律将会遇到不可逾越的障碍，传统的硅芯片计算机总有一天要遭遇极限。反摩尔定律反摩尔定律是Google的前CEO埃里克施密特提出的：如果你反过来看摩尔定律，一个IT公司如果今天和18个月前掉同样多的、同样的产品，它的营业额就要降一半。IT界把它称为反摩尔定律。消极影响：反摩尔定律对于所有的IT公司来讲，都是非常可怕的，因为一个IT公司花了同样的劳动，却只得到以前一半的收入。