测试仪表检验南平-CNAS认证机构

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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

两线变送器的电源连接在变送器的输出端。两线变送器调制电源的电流从4?20mA，和输入端成比例。两线变送器的供电电源一般从24V~96V。大的电源可以使输出端的环路负载能力加大很多。环路电源隔离器的现场检测福禄克多功能校验仪787具有独特的电流模拟功能。当连接至外部电源时，可以让您在0?24mA之间地控制电流。现场检测环路电源隔离器时，两线环路变送器向隔离器的电流信号可以被移去，而福禄克多功能校验仪可以用模拟方式控制环路电流（)步连接福禄克多功能校验仪1、将变送器主环路断，把福禄克多功能校验仪的测试线插入模拟(Simulate)插口并接入环路。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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HermannKaubitzsch还负责对摄像机进行同步和评估，这项任务也不容小觑。一组博士研究生为8台摄像机发了3D布置，这些摄像机必须在超轻型飞机上占用尽可能小的空间。甚至还了一块敞的基板，将系统在旋翼机上。也很快就为该“斜视角系统”取名为：AOS--Tx8。该系统通过以太网控制，图像数据显示在1英寸的屏幕上。“几年前，我们尝试过使用不同型号的红外热像仪，但是通过以太网对其进行控制并没有达到预期的效果，”Bannehr教授解释道。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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用户可以使用4个中等功率SMU(42-SMU,421 1-SMU)，对高电阻材料，要求使用42-PA前置放大器。A-SCS包括多项内置测试，在需要时把SMU的功能自动切换到电压表或电流源，霍尔电压测量要求对样本应用磁场。A-SCS包括交互软件，在半导体材料上进行范德堡法和霍尔电压测量。A-SCSClarius+软件了的程序库，除电阻率和霍尔电压测试外，还包括许多其他测试和项目。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

测试仪表检验南平-CNAS认证机构传统电源需要两台直流源分别相反方向的电流配合控制两台电源分别输出的控制回路来满足实验要求。解决方案IT6432双极性可编程电源可以实现正负电压输出，从而实现电流方向周期性改变。用一台it6432即可以完成该实验。操作方法利用list功能编辑3V/.5A1s和-3V/.5A5s两工步，客户该实验需要1~2周时间，设定好循环次数（65535次），既可以周期性改变电流方向的电流脉冲信号，轻松的完成该实验目的。