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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

干扰源、相合途径及敏感设备是电磁兼容的三要素，缺一不可。电磁兼容的详细内容如所示。电磁兼容如所示，电磁干扰信号的耦合途径有传导和辐射两种。而根据耦合结果不同，干扰又分为共模干扰和差模干扰,共模干扰存在于所有的信号线(包括信号线、数据线和电源线等)和地线之间，而差模干扰存在于信号线之间。提高电磁兼容性措施的有三个方面：提高电子设备本身的EMC性能、对辐射性耦合使用屏蔽技术加以、对传导耦合采取隔离加以。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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其产生噪声的大小与温度、频带宽度△f成正比。高频热噪声高频热噪声是由于导电体内部电子的无规则运动产生的。温度越高，电子运动就越激烈。导体内部电子的无规则运动会在其内部形成很多微小的电流波动，因其是无序运动，故它的平均总电流为零，但当它作为一个元件(或作为电路的一部分)被接入放大电路后，其内部的电流就会被放大成为噪声源，特别是对工作在高频频段内的电路高频热噪声影响尤甚。通常在工频内，电路的热噪声与通频带成正比，通频带越宽，电路热噪声的影响就越大。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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将天线、射频、模拟、数字器和适当的接口等准确地进行集成，需要昂贵和繁琐的设计。但是现在，我们的集成雷达芯片带来了许多创新性的即插即用解决方案。除了标准的汽车应用之外，许多工业和商业应用也可以从简单易用的TI毫米波传感器中获益。集成DSP和微控制器的效率和便利性将多种用途。它可以通过实时监控纠正前端异常情况来提高整体性能。此外，它还专门一个芯片上的用于本地应用程序和数据分析。，无人机上的嵌入式毫米波传感器可以检测农业土壤和作物的品质。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

测试设备校验扬州-报价多少气体检测仪的种类有很多，在密闭空间中使用的气体检测仪主要有三类，这是由于气体种类决定的。密闭空间中的危险气体大致可以分为三大类；氧气水平（不足或过量）（氧气检测仪）、可燃气体（可燃气体报器）、有气体（有气体报器）。气体检测仪在设计时要根据这些气体的产生原因来设计，这些原因大致包括：空间中的自然过程（比如、腐烂等）；与密闭空间相关的工作过程；在空间中使用的或产生的物质；外在污染源等。在选择气体报器时应该考虑到：作为密闭空间进入的危险评估，一定要考虑到密闭空间内部和外部其他部位的状况，以及它们对密闭空间的潜在影响。