仪器计量南充-计量单位

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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

不过，CCD元件的成本高，在高感光度下的表现不太好，而且功耗较大。CMOS的色彩饱和度和质感则略差于CCD，但芯片可以弥补这些差距。重要的是，CMOS具备硬件降噪机制，在高感光度下的表现要好于CCD，此外，它的读取速度也更快。这些特性特别适合性能较高的单反相机，因此目前市场中常见的单反数码相机几乎都采用了CMOS传感器。这些装备了CMOS传感器的数码相机甚至具备了拍摄全高清（FullHD）的能力，这是装备了CCD的数码相机目前无法到的。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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如何才能测量高速或温度骤变物体的热量？传统的测温工具，比如热电偶或点温仪，无法能完全显示高速热应用特征所需的分辨率或速度。这些工具在用于对中物体进行测温时并不实用，至少来说，并不能完整物体的热属性信息。相比之下，红外热像仪可以测量整个场景中的温度，捕捉每一像素的热数据。红外热像仪能够实现快速、准确、非接触式的温度测量。通过为相关应用选择正确的热像仪类型，你便能够收集到可靠的高速测温数据，生成定格的热图像，并给出具有说服力的研究数据。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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TestCenter发为诊断程序的发了支持，包括图形化的故障建模工具、IEEE1232标准的诊断推理机、故障诊断程序发等。IEEE1232标准为故障树分析在内的几种故障诊断方法建立了相应的诊断信息模型，并了两种格式来描述这些信息模型，使之成为可文件。标准还定义了符合IEEE1232标准的诊断推理机。文件由推理机解析，对诊断起指导作用。IEEE1232推理机通过服务接口与测试系统交互。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

仪器计量南充-计量单位工程师甚至可以在诊断一个间歇故障之后，对设计进行更改，很快再进行测试。测试的结果可以对设计更改的影响进行的验证。借助扫描系统，电路板设计工程师可以预先测试和解决电磁兼容问题，从而避免产生非预期的一致性测试结果。扫描仪的诊断功能可以帮助设计团队将辐射测试时间缩短两个数量级以上。EMI近场辐射特性：SSCG示例某一大型半导体厂商在解串器的并行总线上实现了SSCG功能。SSCG功能能够通过将辐射峰值能量扩展到更宽的频带上来减少辐射。