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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

滤波器在通信、事、测试测量等领域应用广泛，尤其在近几年的在微波及毫米波电路中有着广泛的应用。在低频段的应用中，集总参数滤波器有着良好的表现，但是随着频率升高到微波频段以上，集总参数元件(电容、电感)的Q值急剧下降，造成滤波器的插入损耗太大，这时就必须用分布参数元件来代替集总参数元件，但是分布参数元件滤波器的尺寸一般较大，因此有必要减小微波毫米波电路滤波器的尺寸。年 城市大学薛泉教授提出了一种紧凑的微带谐振器(CMRC)，此后螺旋紧凑微带谐振器(SCMRC)以及直线紧凑微带谐振器(BCMRC)又相继被提出。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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找来三把电流钳和三个电压探头，钳子和探头找到对应位置随便接上，只需确保测试点间不短路，上电后发现接错接反了调换过来就行了，不需要费心管什么火线零线、正极负极或共地什么的。用示波器还得小心翼翼，ZDL6000的通道隔离就是可以这么任性。测试UPS响应时间的测试，主要是在机状态下，输入（电网）和输出（负载）端的切入和切出。由于ZDL6000具备硬盘容量级别的记录空间，测试时无需每项内容都重复设置触发、启动捕获和命名保存捕捉的数据。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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如果采用CCD或是CMOS，需要加上y（A）滤光镜校正，采用数码相机，则主要是对数码相机相应的像素进行校正。入射至CCD.CMOS或数码相机的光柱在感光器件上形成光斑，CCD.CMOS或数码相机内部的设定程序会用事先标定好的公式对多幅光斑图像进行测算，推算出LED发出的光在空间分布的色度。亮度数据，LED也通过步进马达控制，可以完成±5℃和±10℃偏转，从而得到不同偏转角度的光斑，从而可以对LED中心光强的分布进行修正。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

计量器具校正钦州-费用多少智能电磁流量计目前的使用已经非常的广泛，加上科技进步，水平的不断提高，智能电磁流量计的功能也更强大了，精度也较以前有提高，如何判断一台智能电磁流量计好坏与否。方法不少，手段也不尽相同，在生产车间的检测阶段一般通过万用表测量它的磁线圈阻值，电极与液体接触电阻值等综合判断仪表性能。智能电磁流量计的优越性体现在以下几点，因为智能电磁流量计是—种体积流量测量仪表，在仪表的测量过程中，它不受测量介质的温度.粘度、密度以及电导率等物理性(在一定范围内)的影响.所以，仪表只需经水标定以后，就可以用来测量其它导电性液体的流量，也无需附加其它手段修正。