仪器校准黔南-CNAS检测公司

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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

如果你把一个红外热像仪指向一堵墙，它会探测到墙的热量，它后面的热量就“鞭长莫及”了。如果墙里面的东西能够引起足够的温差，热像仪也是能够在墙的表面上感应到它的。比如：建筑维护专业人员经常使用热像仪来检测漏水或绝缘层缺失等问题，而无需拆墙来评估问题。墙内的螺柱（垂直线）比隔热层冷，导致墙表面的温差热成像能穿透烟雾吗？红外热像仪是可以穿透烟雾探测到热量的，虽然烟雾中的烟尘颗粒有效地阻挡了可见光，但却挡不住红外线辐射，目前红外热像仪就广泛应用到消防行业。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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参考帧和所选帧之间的时间差（Delta）显示在显示器右侧的结果面板中。Fastframe分段存储方法的优点包括：高Fastframe波形捕获率增加捕获偶发事件的概率使用高采样率保证了波形细节使捕捉脉冲的死区时间，确保有效利用记录长度存储帧可以快速和直观地进行比较，以确定是否在叠加显示中出现异常5系列MSO分段存储显示，显示平均总结帧信息Fastframe分段存储支持标准的样本采集模式、峰值检测和高分辨率模式。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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“过去，研究人员主要使用间接测量，这种方法通过对极化进行测量，并将极化测量值作为温度和电压的函数推导得出电热效应，而不是实际的温度测量结果，”RomainFaye说。“然而，间接测量并不总是能够得出正确的解释。我们的团队一直在寻找更有效的直接温度测量方法。”直接测量温度变化 常用的方法是使用热电偶和红外热像仪。热电偶是测量与温度变化相关的电压变化的电子设备，而红外热像仪则测量与温度变化相关的红外辐射变化。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

仪器校准黔南-CNAS检测公司ZDS2系列示波器标配4Mpts的FFT，在1GSa/s的FFT等效采样率下频率分辨率仍能精细到25Hz，可准确快速的分析信号干扰来源。数字滤波器功能。它是使用IIR或FIR数字滤波器，对被测信号进行数字滤波。通过较少的计算量，可以使通带内具有很好的平坦度、阻带内有足够的衰减和足够小的阻带纹波。ZDS224示波器标配的IIR数字滤波功能可选择高通或低通滤波，截止频率可选择1Hz到1MHz的宽调节范围。